CLEANWAY® CLW-600 為200和300mm的晶片在無(wú)塵車(chē)間的固定路徑的搬送提供了一個(gè)高速的方案。搬送在這個(gè)設(shè)備上實(shí)現(xiàn),這大大提高了可靠性,并縮短了搬送時(shí)間。
使用無(wú)接觸電源供電系統(tǒng),在沒(méi)有電池時(shí),CLW-600 可靠地進(jìn)行搬送工作。它是高速的,摩擦力驅(qū)動(dòng)的,在搬運(yùn)負(fù)載時(shí)可以達(dá)到 80 m/min. (262 ft./min.),以支持高物流量的快速移動(dòng)。
特征和優(yōu)點(diǎn)
• 固定路徑的高速環(huán)路
以驚人的速度快速可靠的搬運(yùn),確保該過(guò)程的最大生產(chǎn)力。
• 無(wú)接觸電源供電系統(tǒng)
沒(méi)有運(yùn)動(dòng)部件和電池,所以可以長(zhǎng)時(shí)間的可靠工作。
• 易擴(kuò)展
模塊化的設(shè)計(jì)使你可以在很短的停工時(shí)間內(nèi)把你的軌道增長(zhǎng)一段。
• 符合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
依造SEMI標(biāo)準(zhǔn),在任何加工產(chǎn)品,確保安全和可靠地運(yùn)做。
• 高速的摩擦力驅(qū)動(dòng)
搬送負(fù)載速度到達(dá)80 m/min. (262 ft./min.),支持高物流量的操作同時(shí)縮短搬運(yùn)時(shí)間。
• 潔凈
達(dá)到有FFU Class 1 和無(wú)FFU Class 100 無(wú)塵車(chē)間標(biāo)準(zhǔn)